石英晶体微量天平传感器制造技术

一种ＱＣＭ传感器，在晶体前面和背面上相对地配置电极的传感器装置的电极浸没在试料气体或试料溶液时，根据主谐振频率或阻抗的变化检测和定量分析试料成分的。传感器装置作成在晶体基片１０的前面、背面上设置４个对置电极（１１Ａ－１４Ａ，１２Ｂ－１４Ｂ）的多通道构造，并且作成在各电极上能够固定对要检测和定量分析的各试料成分不同的接收器的构造，用一个样品一次检测和定量分析各电极上的各种成分。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体振子的电极表面浸没在试料气体或试料溶液时根据晶体振子的振荡频率变化或阻抗变化来检测和定量分析试料成分的QCM传感器，尤其是涉及适合于同时检测和定量分析上述同一试料的多个成分的多通道QCM传感器。在化学和生物化学领域，定量分析反应量和生成物质量是重要的，然而，对极微量的反应量获得足够的检测灵敏度是很困难的。近年来，使用AT切割晶体振子并用微量天秤原理的化学和生物化学传感器得到很大发展并受到广泛注意。AT切割晶体振子的主谐振频率与振子片的厚度成反比。在这种情况下，当试料成分在晶体振子的电极表面形成膜时或者在电极表面发生物质的吸附时，则对应于表面存在的单位面积的物质重量发生频率偏移现象。QCM传感器是上述频率偏移现象的一种应用。因为AT切割晶体振子在广泛的温度范围内其频率特性是稳定的，所以可以期望稳定的检测灵敏度。如果条件齐备，用QCM传感器实时检测1-10ng的吸附物质是可能的。以下将描述吸附物质量与频率偏移量之间的关系。首先，AT切割晶体振子的谐振频率用附图说明图12所示的式(1)和式(2)表示。其中，f0表示晶体振子的主谐振频率，υ表示晶体内的声速，tq表示晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＱＣＭ传感器，其中包含在其晶体基片的前面和背面上相对地配置有一对电极的传感器装置，该ＱＣＭ传感器根据在该传感器装置的电极表面浸没在试料气体或试料溶液中时，主谐振频率的变化或阻抗的变化来检测和定量分析试料的成分，其特征在于：前述传感器装置作成多通道构造，其中分别成对地设置在晶体基片的前面和背面上的电极对被设置为使彼此相邻，并且前述各电极设置为可以固定因符检测和定量分析的各试料成分不同而不同的接收器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：小山升，立间彻，渡边能仁，波户崎修，北寄崎薰，羽场方纪，野口卓孝，
申请(专利权)人：株式会社明电舍，小山升，
类型：发明
国别省市：JP[日本]