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提供了一种检查系统，该系统用于检查玻璃基片的表面和体内缺陷。在检查期间，用一倾斜的气台支撑玻璃，以使平面稳定，并使振动最小。沿平行于气台的倾斜轴使玻璃片转位一给定的距离，然后静止玻璃片。扫描机构在气台的两侧有相应的部分。扫描机构对准气台中的...
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