片材检查设备和方法技术

提供了一种检查系统，该系统用于检查玻璃基片的表面和体内缺陷。在检查期间，用一倾斜的气台支撑玻璃，以使平面稳定，并使振动最小。沿平行于气台的倾斜轴使玻璃片转位一给定的距离，然后静止玻璃片。扫描机构在气台的两侧有相应的部分。扫描机构对准气台中的缝隙，相对于玻璃片作横向移动。重复上述过程，直到玻璃片扫描完毕。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于检查片材缺陷的检查系统，尤其涉及一种用于检查诸如LCD玻璃等玻璃基片中表面和体内缺陷的检查系统。本专利技术通过使用支撑气台，在检查期间为基片提供稳定性，所以其检查系统特别适于容纳相当大尺寸的基片，尺寸大约为550mm×650mm，甚至更大。目前，主要用手工方法检查这种大尺寸的玻璃板。相应地，这些手工过程会给检查后的产品带来大量的可变性。公知检查系统所遇到的一些问题包括，要用一种使片材振动最小的方式来保持基片。另外，还要以严格的平面容差保持玻璃片，以便使检查读数一致。另外，很难直接观察片材的所有区域，且不受支撑结构的影响。也就是说，大多数公知检查系统是在水平或垂直方向上从边缘保持片材，这种方法会在检查过程中造成玻璃下垂和振动。因此，本专利技术的目的是提供一种解决这些问题的方案，该方案对基片的整个玻璃表面进行均匀的空气支撑，但不与片材表面发生物体的接触，同时阻尼掉任何片材振动，并允许片材在检查期间高速运动。本专利技术提供了一种用于检查玻璃基片表面和体内缺陷的方法和设备。该系统包括一个双探测器扫描系统和一个明视场／暗视场成像系统，两个系统一起工作，从而对不同类型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片材检查设备，其特征在于，包括： 倾斜的气台，其所在的平面平行于第一轴，而第一轴与垂直方向成某个角度； 用于使所述片材沿所述第一轴并且平行于所述气台移动，并且只沿所述片材的底边部分接触支撑所述片材的装置； 供气装置，用于支撑所述片材，使其平行于所述气台，并离开所述气台一段所需的距离，从而避免与所述片材的表面部分发生物体接触； 扫描装置；和 用于使所述扫描装置沿第二轴移动的装置，其中第二轴横向越过所述片材的至少一个表面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：JA阿里格里奥，TA布朗利，VW豪威尔，JC迈克克里尼，AG赖德，SA谢夫曼，PM沃伊特，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]