下载检查结果输出装置及基板检查系统的技术资料

文档序号:2600497

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一种基板检查系统,由光投射部将光照射在被检查基板上,由摄象部对其反射光图像进行摄象,并根据所得到的彩色图象信号对基板上的器件安装部位进行检查,根据其检查结果生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布...
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