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气体成分测量装置制造方法及图纸
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文档序号:2600443
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本发明提供一种气体检测器,通过如下步骤形成:把具有透气性的多孔固体电解质层31、32和电极保护膜1层叠在一起;层叠具有催化作用的多孔电极21、22、23、24、25;层叠多孔电绝缘层4和致密固体电解质层5;并把作为温度控制器件6的加热器放置...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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