气体成分测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体检测器，通过如下步骤形成：把具有透气性的多孔固体电解质层３１、３２和电极保护膜１层叠在一起；层叠具有催化作用的多孔电极２１、２２、２３、２４、２５；层叠多孔电绝缘层４和致密固体电解质层５；并把作为温度控制器件６的加热器放置为接触或接近叠层体。在测量ＮＯｘ（氮氧化物）和ＨＣ（碳氢化合物）的多层排气成分中，可靠性和生产率得到提高，但不降低检测灵敏度。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量排气成分如燃烧过程中产生的氮氧化物和碳氢化合物的检测器，以及一种使用该检测器的检测技术。而且，本专利技术涉及在要求燃烧控制的工业领域如废物焚烧设备中的排气成分测量，更具体地涉及一种在高温气氛例如车辆中测量排气浓度并根据该测量结果控制燃烧状态的系统技术。排气成分检测器有许多种。此处排气成分不是指氮氧大气中的主要成分，而是包含在排气中的微量气体成分。排气成分检测器指测量排气的检测器。典型的检测器可大致分为半导体检测器和固体电解质检测器。半导体检测器利用导电载体浓度在测量气体被半导体元件(检测元件)化学吸收时发生变化的现象。所测量气体的浓度变化可通过转换半导体元件电阻的变化而测量到。用于焚烧炉脱氧脱硝工艺的氮氧化物(NOx)检测器已得到研究，其工作温度在200--400℃的中低温范围内。而另一方面，固体电解质检测器可在高于500--600℃的温度中稳定地工作。所以，因气体检测器能在高温排气气氛中使用，例如可用于车辆，固体电解质检测器就成了注意的焦点。把加入氧化钇而部分稳定的氧化锆(YSZ)用作固体电解质的氧气检测器，已经用作安装在车辆上的检测器，并提出类似地把Y本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体成分测量装置，包括：第一固体电解质层；以及第二固体电解质层，所述第一固体电解质层和所述第二固体电解质层层叠在一起，其中：所述第一固体电解质层为多孔的，并通过传导电流除去穿过第一固体电解质层的气体中的至少一部分氧气；穿 过所述第一固体电解质层的气体中的待测量成分被所述第二固体电解质层的传导电流脱氧或氧化；所述待测量成分的浓度基于通过所述第二固体电解质层传导的电流来测量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：小町谷昌宏，铃木清光，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]