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基于微加工制做开口的传感器制造技术
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下载基于微加工制做开口的传感器的技术资料
文档序号:2600374
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一种化学传感器包含一个含酶层(62)、一个扩散层(68)和一个位于扩散层上方的被分析物阻挡层(60)。用微加工技术在被分析物阻挡层中形成一些开口(64),使被分析物受控制是流向扩散层。...
该专利属于艾-斯塔特公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾-斯塔特公司授权不得商用。
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