温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了梁‑岛‑膜应变式压力传感器，包括四个铂金电阻、梁、敏感膜片、岛、硅基底以及玻璃衬底，所述玻璃衬底上键合有硅基底，所述硅基底上开设有真空腔室，所述敏感膜片包括中心膜、平膜以及梁，所述岛位于中心膜中心处并位于真空腔室的内侧，所述...该专利属于明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司授权不得商用。