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膜结构体制造技术
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文档序号:25993642
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本发明提供一种膜结构体,能够使含有锆钛酸铅的压电膜的压电特性提高。膜结构体(構造体)具有:基体(11);形成于基体(11)上,并且含有锆钛酸铅的下部压电膜(21);形成于下部压电膜(21)上,并且含有锆钛酸铅的上部压电膜(22)。基体(11...
该专利属于前进材料科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过前进材料科技株式会社授权不得商用。
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