下载U形铁电场效应晶体管存储单元串、存储器及制备方法的技术资料

文档序号:25993425

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本发明公开了一种U形铁电场效应晶体管存储单元串、存储器及制备方法。该存储单元串,包括由两个第一柱状结构通过第二柱状结构连接而成形成的U形体、分离层(6)和间隔设置的多层的栅电极(4);每层所述栅电极(4),用于包围所述U形体;所述分离层(6...
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