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本发明公开的硅材料机械强度的测量方法是以测量硅材料的位错滑移长度来确定其机械强度的，依次包括如下步骤：首先将从硅材料上割取的试样硅片进行抛光，除去表面损伤层；然后用硬度计压头在硅片表面制造压痕，压痕四周引入位错；再在保护气中对硅片进行热处理...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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