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本发明提供一种用于去除蚀刻残余物的清洗液，其包括含氟化合物；其中，该含氟化合物选自：氟化盐、氟代烷、六氟硅酸、六氟硅酸盐、六氟磷酸、六氟磷酸盐、氟硼酸、氟硼酸盐、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸盐、氟磺酸、氟磺酸盐、和以上任一组合。该清洗液可提高对由...
该专利属于悦盟先进化学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过悦盟先进化学股份有限公司授权不得商用。

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