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锍化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法技术
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下载锍化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法的技术资料
文档序号:25980590
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本发明涉及锍化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法。本发明的课题是提供一种新颖锍化合物,其是在以高能量射线作为光源的光刻中,高感度且酸扩散小、各种光刻性能优异的化学增幅抗蚀剂组成物中使用的;并提供含有该锍化合物作为光酸产生剂的化学增...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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