下载MEMS麦克风和电子产品的技术资料

文档序号:25971803

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本实用新型涉及一种MEMS麦克风和电子产品,包括基板、支撑框架、防水膜和MEMS芯片;所述基板上开设有贯通的主声孔;所述支撑框架盖设在所述基板上,所述支撑框架盖住所述主声孔,所述支撑框架上开设有贯通的次声孔,所述支撑框架与所述基板之间构成容...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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