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本发明的缺陷检测装置的构成包括：被检测体；照明部，对该被检测体倾斜规定角度配置，并照射照明光；摄像部，对上述被检测体倾斜规定角度配置，并对由上述被检测体发出的衍射光进行摄像；角度控制部，用于改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度；图...
该专利属于奥林巴斯光学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯光学工业株式会社授权不得商用。

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