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本发明提供将感光性树脂组合物的涂膜曝光后进行显影而制造被膜时，被膜的形状可具有高分辨率的被膜的制造方法。被膜的制造方法包括由感光性树脂组合物形成涂膜，向涂膜照射光源发出的光而进行曝光，将曝光后的涂膜用碱性溶液进行显影。感光性树脂组合物含有含...该专利属于互应化学工业株式会社;株式会社清和光学制作所所有，仅供学习研究参考，未经过互应化学工业株式会社;株式会社清和光学制作所授权不得商用。