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锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物制造技术
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文档序号:25961664
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本发明提供一种新的锍盐以及新的光酸产生剂等,所述锍盐对i射线具有高感光性,所述光酸产生剂是含有锍盐而成的,所述锍盐对i射线具有高感光性,且与环氧化合物等阳离子聚合性化合物的相容性高,在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表...
该专利属于三亚普罗股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三亚普罗股份有限公司授权不得商用。
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