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本发明实施例涉及一种加热方法及加热装置，加热方法包括：获取距离温度关系式，所述距离温度关系式表征，将晶圆置于加热盘上进行加热以对光刻胶层进行加热处理之后，在所述光刻图形具有不同的实际线宽尺寸下，所述晶圆的翘曲高度值与所述加热盘的加热温度之间...
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