下载金属氧化物阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板的技术资料

文档序号:25919002

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本发明提供了一种金属氧化物阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板。本发明提供的金属氧化物阵列基板的制造方法依次在衬底基板上沉积栅金属层和缓冲层,在缓冲层上形成半导体图形,在半导体图形上形成薄膜晶体管的源极和漏极,最后在缓冲层上沉积保护层,并...
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