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基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片制造技术
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下载基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片的技术资料
文档序号:2590216
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一种微电子技术领域的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析高效检测芯片,其中,玻璃层与聚二甲基硅氧烷层通过键合密封在一起,在聚二甲基硅氧烷层上设有试剂样品输入口、试剂样品输出口,玻璃层上设有各个通道起点、通道终点,试剂样品输入口、试剂样品输出...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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