基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片制造技术

技术编号:2590216 阅读:156 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微电子技术领域的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析高效检测芯片,其中,玻璃层与聚二甲基硅氧烷层通过键合密封在一起,在聚二甲基硅氧烷层上设有试剂样品输入口、试剂样品输出口,玻璃层上设有各个通道起点、通道终点,试剂样品输入口、试剂样品输出口分别与各个通道起点、通道终点相对应,陶瓷压电阀进样控制器在聚二甲基硅氧烷层的外侧,芯片固紧夹具系统将陶瓷压电阀进样控制器紧密贴合在键合后聚二甲基硅氧烷层一侧,芯片固紧夹具系统同时将芯片固定在底座上,超声生物试剂混合系统嵌入粘贴在聚二甲基硅氧烷层,其下方为玻璃层,玻璃层外侧为集成温控反应系统。本发明专利技术不仅大大减小了器件体积,降低了成本,也使其批量化加工成为可能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种生物试剂分析检测芯片,特别是一种基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析高效检测芯片。属于微电子

技术介绍
在生物化学和医学检测分析系统中,生物试剂和化学试剂浓度和组分检测是至关重要的组成环节,微机电技术(MEMS)的发展使这一检测可以在芯片上完成。基于不同检测原理的众多检测方法都被用于生物试剂和化学试剂浓度和组分检测研究中,检测器件一般按其检测原理进行分类,大致可以分为光学检测器、电化学检测器、质谱检测器等。到目前为止,光学检测器是应用最为广泛的一种技术,而作为光学检测器这一大类的重要一支,光学检测器对于某些荧光效率高的物质,通过采用光子记数、双光子激发等一些改进的技术甚至可达到单分子检测,此外,光学检测方法还具有良好的选择性和较宽的线性范围,并且许多如氨基酸、DNA等重要的生化物质样品均可以用荧光试剂进行标记和检测,因此在生物试剂和化学试剂浓度和组分检测中,光学检测是一种应用最早、并且至今仍然应用较多的光学检测方法,也是目前在商品化化学分析系统中惟一被采用的检测途径。经对现有技术的文献检索发现Grewe等人于2000年在《Applied Physi本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片,包括:聚二甲基硅氧烷层(2)、玻璃层(3),其特征在于,还包括:集成双路光导检测系统(1),超声生物试剂混合系统(4),芯片固紧夹具系统(5),集成温控反应系统(6),陶瓷压电阀进样控制器(7),玻璃层(3)与聚二甲基硅氧烷层(2)键合密封在一起,在聚二甲基硅氧烷层(2)上设有试剂样品输入口(8)、试剂样品输出口(9),玻璃层(3)上设有各个通道起点(10)、通道终点(11),试剂样品输入口(8)、试剂样品输出口(9)分别与各个通道起点(10)、通道终点(11)相对应,陶瓷压电阀进样控制器(7)在聚二甲基硅氧烷层(2)的外侧,芯片固紧夹具系统(...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈文元贾晓宇牛志强张卫平
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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