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本发明涉及光电子技术领域,尤其涉及一种具有脊波导结构的GePb激光器及其形成方法。所述具有脊波导结构的GePb激光器,包括硅衬底以及位于所述硅衬底表面的脊波导结构;其中,所述脊波导结构包括:下接触层,位于所述硅衬底表面;有源层,凸设于所述下...该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。
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