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本发明提供能够在不对基板造成损伤的情况下提高基板的检测精度的基板处理装置。实施方式的基板处理装置(10)具有：沿着搬送路径(A1)搬送基板(W)的搬送部(30)；利用处理液对由搬送部(30)搬送的基板(W)进行处理的处理部(40)；基板检测...
该专利属于芝浦机械电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子株式会社授权不得商用。

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