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芯片组件的键合模组、夹具及芯片组件的夹持方法技术
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下载芯片组件的键合模组、夹具及芯片组件的夹持方法的技术资料
文档序号:25892727
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本申请提供一种芯片组件的键合模组、夹具及芯片组件的夹持方法,用于在金丝键合工艺中夹持芯片组件。键合模组包括模块本体、夹持件、弹性件以及限位件。模块本体上形成有定位面,夹持件活动地设置于模块本体上。弹性件连接模块本体和夹持件,弹性件位于初始状...
该专利属于武汉光迅科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光迅科技股份有限公司授权不得商用。
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