下载多针结构探针体及探针卡的技术资料

文档序号:25888950

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本发明提供一种多针结构探针体及探针卡,能够应对半导体集成电路的电极端子之间的窄间距化。本发明的多针结构探针体的特征在于,具有:多个接触部,它们与第一接触对象和第二接触对象电接触,由导电性材料形成;以及基部,其安装在基板上,并且支承所述多个接...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

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