下载基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器的技术资料

文档序号:25888935

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本发明公开了一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器,包括:传导转换元件中包括至少一个能弹性弯曲的传导转换元件;衬底的表面覆盖设置绝缘层;每个传导转换元件的一端与衬底固定连接,另一端为自由端,呈悬臂梁结构横向设置在衬底上;各传导转换元件均...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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