基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器，包括：传导转换元件中包括至少一个能弹性弯曲的传导转换元件；衬底的表面覆盖设置绝缘层；每个传导转换元件的一端与衬底固定连接，另一端为自由端，呈悬臂梁结构横向设置在衬底上；各传导转换元件均处于绝缘层上方；全部的传导转换元件在衬底上呈多米诺骨牌的布置方式排布，其中的能弹性弯曲的传导转换元件的自由端能在气流作用下发生形变与相邻的传导转换元件导电接触；各传导转换元件能与外接电路连接组成闭合回路。本发明专利技术的流速传感器可做为流量开关使用，也可以做检测气体流速的传感器使用。本发明专利技术传感器的结构简单，优势可观，在零功耗，小型化的领域将有大用处。

【技术实现步骤摘要】
基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器
本专利技术涉及微机械电子器件领域，具体涉及一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器。
技术介绍
流速、流量传感器与人们的生活息息相关，在生物、医学、汽车等行业得到广泛应用，目前对于流速、流量传感器的功耗、灵敏度、精确度等要求越来越高。为了适应行业发展的需求，未来的流量传感器会朝着多功能化、集成化发展，从大型器件、高功耗往器件小型化、低功耗甚至零功耗发展。随着近年来半导体行业的大力发展以及微机电系统技术(MEMS)的进步，流速、流量传感器的也随之有了巨大的进步。采用MEMS技术的流速、流量传感器可以分为热式和非热式两种形式，然而在传感器功耗方面，总是存在功耗大，精确度低等问题。而在如电子烟、呼吸机等一些特定的应用场合中，流速、流量传感器的功耗、灵敏度等十分重要，因此对于这些场合下，如何提供一种尺寸小、功耗低、甚至零功耗、灵敏度、精确度的流速、流量传感器是需要解决的问题。
技术实现思路
基于现有技术所存在的问题，本专利技术的目的是提供一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器，其特征在于，包括：/n衬底、绝缘层和至少两个传导转换元件；其中，/n所述传导转换元件中包括至少一个能弹性弯曲的传导转换元件；/n所述衬底的表面覆盖设置所述绝缘层；/n每个传导转换元件的一端与所述衬底固定连接，另一端为自由端，呈悬臂梁结构横向设置在所述衬底上；/n各传导转换元件均处于所述绝缘层上方；/n全部的传导转换元件在所述衬底上呈多米诺骨牌的布置方式排布，其中的能弹性弯曲的传导转换元件的自由端能在气流作用下发生形变与相邻的传导转换元件导电接触；/n各传导转换元件能与外接电路连接组成闭合回路。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器，其特征在于，包括：
衬底、绝缘层和至少两个传导转换元件；其中，
所述传导转换元件中包括至少一个能弹性弯曲的传导转换元件；
所述衬底的表面覆盖设置所述绝缘层；
每个传导转换元件的一端与所述衬底固定连接，另一端为自由端，呈悬臂梁结构横向设置在所述衬底上；
各传导转换元件均处于所述绝缘层上方；
全部的传导转换元件在所述衬底上呈多米诺骨牌的布置方式排布，其中的能弹性弯曲的传导转换元件的自由端能在气流作用下发生形变与相邻的传导转换元件导电接触；
各传导转换元件能与外接电路连接组成闭合回路。


2.根据权利要求1所述的基于弯曲形变接触多米诺原理式流速传感器，其特征在于，所述能弹性弯曲的传导转换元件由弹性支撑结构表面设置一层金属沉积层构成。


3.根据权利要求2所述的基于弯曲形变接触...

【专利技术属性】
技术研发人员：许磊，张岩，谢东城，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34