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本发明公开一种温度控制系统，包括：外部循环单元，与外接设备连接，用于对所述外接设备进行温度控制；制冷单元，所述制冷单元包括设置于制冷回路上的压缩器、冷凝器和蒸发器；热气旁通单元，连通所述压缩器的出口端和所述蒸发器的制冷剂进口端，所述热气旁通...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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