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一种微流体致动器模块的制造方法，包含以下步骤：1.提供第一基板沉积及蚀刻第一保护层；2.第一保护层滚压及显影第一光阻层；3.提供辅助基板滚压及蚀刻薄膜胶层以及阀层；4.阀层翻转对位以及接合于第一光阻层上；5.提供第二基板；6.第二基板滚压及...
该专利属于研能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

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