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一种扫描显微环境下的薄膜拉伸加载装置与薄膜变形测量方法，属显微扫描无损检测和精密机械领域。该发明是通过设计能进行三维位置和角度调整的机械结构、压电陶瓷驱动系统、力缓冲系统等在原子力扫描显微镜和电子束扫描显微镜检测平台上完成薄膜变形测量，可对...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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