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荧光X射线分析装置制造方法及图纸
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文档序号:2588125
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本发明的课题在于提供一种进行氦置换的荧光X射线分析装置,容易更换试样室和照射室之间的隔壁膜,在分析时,试样室的空气不流入照射室。第1支架(21)按照其窗(21a)与试样室(3)和照射室(8)之间的壁部(4)的窗(4a)重合的方式气密地安装于...
该专利属于理学电机工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过理学电机工业株式会社授权不得商用。
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