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本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在ＳＯＩ硅片下层硅上的ＳＯＩ硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材料覆盖在加热电阻上，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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