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本实用新型涉及一种固定晶圆用静电吸盘，具有晶圆固定单元，晶圆固定单元包括底盘以及设置在底盘下端的电容盘，底盘和电容盘通过辅助安装单元进行定位安装，电容盘内设有冷却通道，用于对其进行冷却，电容盘的下端面固定连接有位移单元，位移单元的输出可贯穿...
该专利属于无锡市邑勉微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市邑勉微电子有限公司授权不得商用。

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