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无焦点检查装置制造方法及图纸
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文档序号:25852237
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本实用新型公开了一种无焦点检查装置,包括:结构光源,其依次照射具有一个相位范围的多个结构光;至少一个透镜,其针对所述多个结构光,分别调整与所述相位范围中各个相位对应的光的路径,使得与所述相位范围中的一个相位对应的光到达对象体上一部分区域的各...
该专利属于株式会社高迎科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社高迎科技授权不得商用。
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