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本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置，属于晶圆检测技术领域，其包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，其特征在于：所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两...
该专利属于无锡新微阳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡新微阳科技有限公司授权不得商用。

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