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一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置及其测量方法，该测量装置包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机，该计算机有两个ＲＳ２３２标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器，...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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