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本实用新型提供了一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括：阀门壳，其上部通道连通反应室的吸入口和其下部通道连通真空泵的排出口，上部通道的侧边设置有磁石；位于阀门壳内部的阀门板，其由磁石反应材质制成，并且同时受到重力和来自磁石的吸力，重力和...
该专利属于无锡永井电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡永井电子有限公司授权不得商用。

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