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光固化性含硅被覆膜形成用组合物制造技术
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文档序号:25844856
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本发明的课题是提供下述光固化性含硅被覆膜形成用组合物,其在高低差基板上在不需要将含硅被覆膜在高温下固化烧成的情况下进行光固化,从而不会使存在于下层的进行了光固化的有机下层膜的平坦化恶化,因此在平坦化性高的有机下层膜上形成平坦化性高的含硅被覆...
该专利属于日产化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日产化学株式会社授权不得商用。
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