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本申请实施例提供一种压电薄膜体及其制备方法、空腔型器件及其制备的方法，压电薄膜体，包括依次层叠的衬底层、隔离层和压电薄膜层；衬底层包括带有空腔的衬底基体；空腔内由填充层完全填充；填充层与隔离层接触；其中，填充层与隔离层的材料相同，并且，填充...
该专利属于济南晶正电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南晶正电子科技有限公司授权不得商用。

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