下载一种双面环形Ge基长波红外和太赫兹探测器和制备方法的技术资料

文档序号:25840682

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种双面环形Ge基长波红外和太赫兹探测器和制备方法,该探测器包括上下二层,每一层由环状的吸收区、中心阻挡区、环状吸收区电极和中心阻挡区电极组成,层与层之间的吸收区和阻挡区电极分别通过欧姆接触串联,制备方法包括五个步骤,即通过光刻...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。