下载一种顶栅结构的In-cell触控面板及制作方法的技术资料

文档序号:25840415

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本发明公开一种顶栅结构的In‑cell触控面板及制作方法,其中制作方法包括:在基板上依次制作有源层、栅极绝缘层、栅极和第一光阻,使用具有透光区、部分透光区、遮光区的灰阶光罩对栅极上的第一光阻进行曝光并显影,保留灰阶光罩的部分透光区和遮光区对...
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