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本申请提供了一种太阳能电池的硼扩散方法、太阳能电池及其制作方法。该硼扩散方法，包括以下步骤：将预处理后的N型硅片置于扩散炉内，在第一温度下进行第一次硼扩散沉积；在第一次硼扩散沉积之后，使扩散炉内的温度从第一温度升温至第二温度，进行推结；在推...该专利属于浙江晶科能源有限公司;晶科绿能(上海)管理有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶科能源有限公司;晶科绿能(上海)管理有限公司授权不得商用。