温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一具整合微流道的声波感测装置及其方法，是以一压电块材作为基板，以机电或化学加工方式做其感测区域成为压电薄板，再利用指叉状电极结构（Ｉｎｔｅｒ－ｄｉｇｉｔａｌ　　ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ，ＩＤＴ）使其产生平板挠曲波。本发明更可进一步以同...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。