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本发明涉及一种用于检测目标气体物质的气体检测器和方法，该气体物质如在包含含氟物质的气体中的含氟物质，例如，经受ＨＦ、ＮＦ↓［３］等蚀刻清洗的半导体加工工具的排放物。一方面，气体检测器采用对含氟物质敏感的含镍丝，其可以起传感部件的作用以及当需...
该专利属于高级技术材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过高级技术材料公司授权不得商用。

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