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本发明公开了一种更换动态气体锁的装置，包括：储存盘，移动设于测量支架与工件台之间，所述储存盘上设有第一安装单元，所述第一安装单元用于吸附动态气体锁以存放，或者脱吸附以释放；所述测量支架上设有第二安装单元，所述第二安装单元用于吸附所述储存盘上...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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