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本发明涉及光学材料领域，尤其涉及一种高分辨率负性光刻胶，丙烯酸改性的环氧树脂这种碱溶性负型光刻胶以丙烯酸将丙烯酸作为引入双键的成分，每当引入一个双键，便会消耗一个羧基，很难保证成膜树脂在显影液中的溶解性，易造成具有较高的LER和较低的分辨率...
该专利属于广东绿色大地化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东绿色大地化工有限公司授权不得商用。

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