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本实用新型公开了一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台，包括有主架，主架的顶部凸起设置有多个靶材置放部，靶材置放部包括有多个用于承托靶材工件的承托掐口，承托掐口开口向上设置，承托掐口的掐口大小不小于靶材工件的径宽。同一靶材置放部的各承托掐口分别沿...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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