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一种气相团簇反应装置、反应系统与方法制造方法及图纸
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文档序号:25827200
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本发明涉及一种气相团簇反应装置、反应系统与方法。本发明所述反应装置包括反应部件和蒸发部件,其中,所述反应部件包括反应室,所述反应室设有反应开口端;所述蒸发部件包括伸缩组件和加热元件,所述伸缩组件包括蒸发室,所述蒸发室连通所述反应室,所述加热...
该专利属于中国科学院化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。
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