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使用离子束制造扫描探针显微镜和临界尺寸扫描探针显微镜纳米针探针的方法与由其制造的技术
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文档序号:2582225
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本发明涉及一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)的方法以及由其制造的纳米针探针,该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言,本发明涉及一种制造SPM纳米针探针的方法和由其制造的SPM纳米针探针,该探针能够容易地调整,以使附着于SPM纳米针探...
该专利属于韩国标准科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国标准科学研究院授权不得商用。
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