下载用于测量测量目标的具有镜面装置的干涉仪的技术资料

文档序号:2581531

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本发明提出了一种用于对测量目标(5),特别是测量目标(5)的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置(1)。在这种情况中,专用镜头(45)设有镜面装置(40),该镜面装置由至少一个第一偏转镜面(60)和一个第二偏转镜面(65)组成,并且这些偏转镜面...
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